Сенсори тиску з ємнісним принципом роботи в режимі дотику мають кращі характеристики в промислових застосуваннях порівняно з іншими пристроями. У режимі дотику діафрагма ємнісного датчика тиску дотикається до структури підкладки. Перевагами такого режиму роботи є майже лінійні характеристики виходу, великий діапазон тиску та міцна структура, що дозволяє витримувати важкі промислові умови. У цій роботі розглянуто принцип, проектування та характеристики сенсорів тиску з ємнісним принципом роботи в режимі дотику з використанням різних матеріалів та технологій для промислових застосувань. Показано, що абсолютний датчик тиску має переваги у вигляді стабільності, низького споживання енергії, міцної структури, здатності переносити великі перевантаження та високої чутливості. Базовий дизайн пристрою може використовуватися для вимірювання тиску від 10 до 10^3 psi зі зміною параметрів процесу. Він може витримувати температуру до 3008C протягом кількох годин і мати захист від перевантаження від 200% до 200 000% від повного діапазону. Пристрої зі вбудованим референсним конденсатором мають хороші температурні характеристики в діапазоні температур від 25°C до 100°C. Цей режим роботи може доповнити п'єзорезистивні та нормальні ємнісні датчики тиску в промислових застосуваннях, де важлива механічна та електрична стабільність. Розроблена програма CAD для проектування ємнісних сенсорів в режимі дотику. З її допомогою можна проектувати сенсори, які задовольняють задані вимоги та оцінювати розподіл характеристик пристроїв з відомими варіаціями процесу контролю. Потік рідини, сила, прискорення та зміщення можуть бути перетворені на тиск. Тому пристрій може використовуватись для вимірювання потоку, сили, прискорення та зміщення в автомобільній та інших промислових застосуваннях. Проектування та симуляція кремнієвих діафрагм можуть бути застосовані для інших сенсорів, актуаторів та мікросистем,  рідкісних клапанів, насосів та перемикачів.